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數字式質量流量控制器 Alicat的MC系列數字式質量流量控制器可通過定制化的高速比例調節閥 精確測量與控制過程氣體的質量流量體積流量和壓力,還可同時測量并顯示 氣體溫度 對安裝方向不敏感。美國ALICAT-MC系列質量流量控制器提供總體的用戶支持,包括技術咨詢 快捷的設備校準服務和質保。 美國艾里卡特MC系列質量流量控制器 標準精度0.8%RD+0.2%FS、高精度0.4%RD+0.2%FS 有效范圍0.5- 內置90-130條氣體曲線可選 響應速度100MS 多種數字信號可選 美國ALICAT-MC系列質量流量控制器性能參數 性能/參數 | MC系列質量流量控制器 | 流量范圍 | 0.5SCCM-5000SLPM 可自行修改流量單位如kg/h、g/min等 | 標定氣體 | 內置90條氣體可選擇 | 精度(調零后) | ±(0.8%Rd+0.2%FS) | 高精度(調零后) | ±(0.4%Rd+0.2%FS),限于5SCCM-500SLPM | 重復性 | ±0.2%FS | 漂移(零點/滿量程) | 0.02% F.S/oC/Atm | 工作范圍 | 0.5- | 響應時間 | 100毫秒(調整) | 啟動預熱時間 | 1秒內 | 標準工況 | 25oC & 14.696 psia,可自定義修改 | 工作溫度范圍 | -10~-50℃(另有高溫訂制品) | 工作濕度范圍 | 0-RH(非冷凝) | 工作壓力 | 10Bar | 安裝方向 | 任意 | 閥門狀態 | 常閉 | 材質 | SUS302303304不銹鋼、密封圈VITON | 顯示屏 | 背光LCD顯示屏,同時顯示流量、壓力、溫度 |
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