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CMP拋光技術

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  • TA的每日心情
    無聊
    2024-10-12 09:16
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    [LV.5]常住居民I

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    發表于 2024-8-5 14:18:47 | 只看該作者 |倒序瀏覽 |閱讀模式
    CMP(Chemical-Mechanical Polishing)拋光技術即化學機械拋光,是一種在半導體制造過程中用于全局平坦化的技術。CMP技術結合了化學腐蝕和機械磨削兩種作用,用于去除硅片表面的不平整,確保后續工藝步驟能夠在平坦的表面上進行。
    在CMP過程中,化學腐蝕劑(如堿性溶液)會溶解硅片表面的材料。硅片在拋光墊上移動,與拋光墊接觸的表面受到機械磨削,去除化學腐蝕后的材料。拋光墊通常由聚氨酯或其他合成材料制成,具有一定硬度和彈性,以適應不同的拋光需求。拋光液包含化學腐蝕劑和磨料顆粒,磨料顆粒可以增強機械磨削作用。拋光頭用于施加壓力,使硅片與拋光墊緊密接觸。硅片在拋光墊上旋轉,同時拋光液被均勻地分布到拋光墊上。CMP過程中需要實時監控拋光狀態,確保達到預定的平整度和厚度。拋光后,硅片需要進行清洗和干燥,去除殘留的拋光液和磨料顆粒。
    CMP技術廣泛應用于多層互連、絕緣層平坦化、金屬層拋光等半導體制造工藝。能夠實現全局平坦化,提高器件性能和可靠性。適用于多種材料的拋光,包括硅、二氧化硅、銅等。
    CMP技術在現代半導體制造中應用廣泛,隨著集成電路特征尺寸的不斷縮小,CMP技術的重要性也在不斷增加。為了滿足更高精度和更復雜結構的需求,CMP技術仍在不斷發展和完善中。

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  • TA的每日心情
    開心
    2024-9-29 14:34
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    沙發
    發表于 2024-8-12 19:26:39 | 只看該作者
    CMP拋光技術是一種通過化學腐蝕與機械研磨協同作用,實現材料表面納米級平坦化的關鍵技術。它廣泛應用于半導體制造、微電子工藝等領域,能夠有效提高芯片質量和生產效率。CMP拋光技術結合了化學和機械的優勢,避免了單一方法的局限性,是現代集成電路制造中不可或缺的重要工藝。
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  • TA的每日心情
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    2024-10-11 09:56
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    發表于 2024-8-27 17:46:46 | 只看該作者
    樓上的觀點的作者真是個專家,解釋得非常透徹。
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  • TA的每日心情
    開心
    2024-9-20 09:26
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    發表于 2024-9-3 22:12:41 | 只看該作者
    樓上,同問,等待高手解答,謝謝!
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    發表于 2024-9-10 18:06:25 | 只看該作者
    以前的拋光是手工的
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